高効率フィルターメッシュ交換と交換条件

1 高効率フィルターメッシュを交換する際は、4つのフレームとフィルターメッシュが設置されている周囲を濡れたきれいな布で拭き、3回繰り返します。高効率フィルターは拭き終わった直後に取り付けてください。高効率フィルターは現場で開封し、検査後すぐに取り付けて、高効率フィルターメッシュへの埃の付着を防ぎます。

2 交換条件

3 クリーンルーム内の浮遊粒子数が大幅に超過した場合。

4 高効率フィルターメッシュの最終風量が初期風量の70％を下回った場合。

5 高効率フィルターメッシュの交換後、粉塵計で高効率フィルターと設置ジョイントのリーク検査を行います。検査スキャン中にボルトを締めたり、エポキシ樹脂でシールしたりします。

6 高効率フィルターメッシュの検出と交換は、タイムリーに記録する必要があります。

7 高効率フィルターメッシュの交換後、リークテストを実施し、検証する必要があります。

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