고효율 필터 메쉬 교체 및 교체 조건

1 고효율 필터 메쉬를 교체할 때, 네 개의 프레임과 필터 메쉬가 설치된 주변 영역을 깨끗한 젖은 걸레로 세 번 닦아야 합니다. 닦은 직후 고효율 필터를 즉시 설치해야 합니다. 고효율 필터는 현장에서 포장을 풀고 검사 후 즉시 설치하여 먼지가 고효율 필터 메쉬에 떨어지는 것을 방지해야 합니다.

2 교체 조건

3 클린룸 내 부유 입자 수가 현저하게 초과되었습니다.

4 고효율 필터 메쉬의 최종 풍량이 초기 풍량의 70% 미만으로 떨어질 때.

5 고효율 필터 메쉬 교체 후, 먼지 입자 계수기로 고효율 필터 및 설치 조인트에 대한 누출 검사를 수행합니다. 검사 스캔 중 볼트를 조이거나 에폭시 수지로 밀봉합니다.

6 고효율 필터 메쉬의 감지 및 교체는 적시에 기록해야 합니다.

7 고효율 필터 메쉬 교체 후 누출 테스트를 수행하고 확인해야 합니다.

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